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本发明提供了一种具有分段式电极的多模干涉光调制器,包括衬底,设于衬底上的缓冲层,设于缓冲层上的多模波导,包覆所述多模波导的包层,以及设于所述包层上的至少一条调制电极;所述调制电极包括位于所述多模波导上部并沿波导轴线方向间隔排布的分段工作电极...该专利属于绍兴庞纳微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过绍兴庞纳微电子科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种具有分段式电极的多模干涉光调制器,包括衬底,设于衬底上的缓冲层,设于缓冲层上的多模波导,包覆所述多模波导的包层,以及设于所述包层上的至少一条调制电极;所述调制电极包括位于所述多模波导上部并沿波导轴线方向间隔排布的分段工作电极...