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一种可特异性调控的高通量超衍射极限焦斑生成装置制造方法及图纸
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下载一种可特异性调控的高通量超衍射极限焦斑生成装置的技术资料
文档序号:26595577
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本发明公开了一种可特异性调控的高通量超衍射极限焦斑生成装置,该装置首先生成用于产生高通量暗斑的激光,然后入射到加载衍射相位的空间调制器上,将光束分束为多路激光阵列,再将其入射到微透镜阵列上并聚焦,同时将光束阵列在微透镜阵列的傅里叶面上进行滤...
该专利属于之江实验室所有,仅供学习研究参考,未经过之江实验室授权不得商用。
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