下载一种基于折纸结构的曲率传感器的技术资料

文档序号:26592820

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本发明提供了一种基于折纸结构的曲率传感器,该曲率传感器包括柔性基板(1)、金属极板(2)、第一固支梁锚区(31)、第二固支梁锚区(32)、具有折叠薄膜结构的双端固支梁(4),第一折叠薄膜结构(52)、第二折叠薄膜结构(53)、第三折叠薄膜结...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。

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