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本发明涉及一种ＭＥＭＳ加速度地震传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，上、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁。本发明质量块为正六边形结构，通过其上均布设置的三条悬臂梁支撑在边框及上电极、下电极形...
该专利属于威海双丰物探设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威海双丰物探设备股份有限公司授权不得商用。

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