MEMS加速度地震传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种ＭＥＭＳ加速度地震传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，上、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁。本发明专利技术质量块为正六边形结构，通过其上均布设置的三条悬臂梁支撑在边框及上电极、下电极形成的槽中。保证了中间电极平动，本发明专利技术横向隔离性能效果好，线形好，抗冲击性强，温度漂移小，本发明专利技术结构简单，体积小，安装方便，工作可靠性高。特别适合于制作三分量传感器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种地震传感装置，具体地说是一种加速度地震传感器。
技术介绍
我们知道，石油、煤炭行业进行地质勘探时，地震传感器是必备的工具。现有地震传感器主要采用磁电式速度传感器，其结构主要由外壳、上盖、下盖、线圈、弹片、磁体、轭铁、电极等组成，轭铁位于磁体上、下两端，磁体与轭铁的定位是通过轭铁上的凹孔实现，它们组成磁回路装置，线圈绕在磁体、轭铁外部，由弹片支撑，当外界发生震动，线圈在磁回路中做上下往复振动，切割磁力线，输出震动信号。磁电式地震传感器性能的好坏主要取决于磁体的性能，体积一般都比较大，造成磁回路装置体积较大、成本高，使装好的传感器成品体积也大、成本高，造成施工困难。同时，上述装置磁路分流和温度补偿作用也差，工作可靠性不高。另外还有电容式加速度传感器，其是变间距差动电容传感器，其芯片由两片固定的外侧电极和可移动的中间电极构成，上电极、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁等，由中央可动电极和上下固定电极构成一个三明治结构。中间电极的质量块由悬臂梁支撑，受震后，中间电极发生位移引起上下电容量变化。中间电极常规设计均为正方形或长方形结构，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＭＥＭＳ加速度地震传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，上电极、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁，其特征在于：质量块为正六边形结构，通过其上均布设置的三条悬臂梁支撑在边框及上电极、下电极形成的槽中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：牛德芳，颜永安，于国良，唐晓刚，张乐巧，张桂先，赵冰，孙中心，星学奎，
申请(专利权)人：威海双丰物探设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：37[中国|山东]