下载一种基于微波等离子体化学气相沉积的阻隔容器的技术资料

文档序号:26586501

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本发明公开了一种基于微波等离子体化学气相沉积的阻隔容器。所述基于微波等离子体化学气相沉积的阻隔容器的容器壁包括:透明容器壁,设置在所述透明容器壁的内壁上的纳米阻隔层、设置在所述透明容器壁的外壁上的第一介质层、设置在所述第一介质层上表面的第二...
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