下载一种单晶硅棒的切割装置的技术资料

文档序号:26583301

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本实用新型公开了一种单晶硅棒的切割装置,包括第一电机,所述第一电机带动残齿轮旋转,所述残齿轮上端啮合连接齿条,所述齿条上端右侧设置单晶硅棒样品,顶壁右侧下端焊接有外圈支撑架,所述外圈支撑架通过带有圆柱滚子的保持架滚动连接内圈支撑架,所述内圈...
该专利属于南昌大学所有,仅供学习研究参考,未经过南昌大学授权不得商用。

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