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一种单晶硅棒的切割装置制造方法及图纸

技术编号:26583301 阅读:43 留言:0更新日期:2020-12-04 21:02
本实用新型专利技术公开了一种单晶硅棒的切割装置,包括第一电机,所述第一电机带动残齿轮旋转,所述残齿轮上端啮合连接齿条,所述齿条上端右侧设置单晶硅棒样品,顶壁右侧下端焊接有外圈支撑架,所述外圈支撑架通过带有圆柱滚子的保持架滚动连接内圈支撑架,所述内圈支撑架左侧焊接有大齿轮,所述大齿轮内啮合小齿轮,第二电机带动小齿轮旋转,所述内圈支撑架内侧固定连接有电动推杆,所述电动推杆输出端固定连接有切割刀,该实用新型专利技术通过实现单晶硅棒的间歇线性运动,从而可以有效控制单晶硅棒的切割厚度,实现单晶硅棒的厚度均匀一致,切割刀可以对单晶硅棒进行环切,使切割面的平整度大大提高,改善了切割效果。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒的切割装置
本技术涉及切割
,具体地说是一种单晶硅棒的切割装置。
技术介绍
单晶硅是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿,用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等,在开发能源方面是一种很有前途的材料。单晶硅棒是在工业生产中使用直拉法或悬浮区熔法从炉体中生长出棒状单晶硅,单晶硅棒从炉体中取出后,需要进行破段、切片等工艺流程,而现有的单晶硅棒切割装置,人工手动去推动单晶硅棒进行切割,切割厚度不能有效控制,有的厚,有的薄,而且容易出现切割面不平整的现象,存在不足。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足,提供一种设计合理、切割均匀、切割效果好的单晶硅棒切割装置。为了实现上述目的,本技术的技术方案是:一种单晶硅棒的切割装置,包括左侧壁、底壁、后侧壁和顶壁,所述顶壁和底壁相对,顶壁和底壁之间设置有左侧壁和后侧壁,所述后侧壁上焊接有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接第一转轴,所述第一转轴远离第一电机的一端固定连接残齿轮,所述残齿轮上端啮合连接齿条,所述齿条上端左侧设置有两根滑杆,所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅棒的切割装置,其特征在于:包括左侧壁(2)、底壁(3)、后侧壁(4)和顶壁(6),所述顶壁(6)和底壁(3)相对,顶壁(6)和底壁(3)之间设置有左侧壁(2)和后侧壁(4),所述后侧壁(4)上焊接有第一电机(22),所述第一电机(22)的输出端固定连接第一转轴(18),所述第一转轴(18)远离第一电机(22)的一端固定连接残齿轮(19),所述残齿轮(19)上端啮合连接齿条(1),所述齿条(1)上端左侧设置有两根滑杆(15),所述滑杆(15)上端固定连接滑块(16),所述顶壁(6)下端开设有滑槽(17),所述滑块(16)滑动连接滑槽(17),所述齿条(1)上端右侧设置有支撑杆(20...

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒的切割装置,其特征在于:包括左侧壁(2)、底壁(3)、后侧壁(4)和顶壁(6),所述顶壁(6)和底壁(3)相对,顶壁(6)和底壁(3)之间设置有左侧壁(2)和后侧壁(4),所述后侧壁(4)上焊接有第一电机(22),所述第一电机(22)的输出端固定连接第一转轴(18),所述第一转轴(18)远离第一电机(22)的一端固定连接残齿轮(19),所述残齿轮(19)上端啮合连接齿条(1),所述齿条(1)上端左侧设置有两根滑杆(15),所述滑杆(15)上端固定连接滑块(16),所述顶壁(6)下端开设有滑槽(17),所述滑块(16)滑动连接滑槽(17),所述齿条(1)上端右侧设置有支撑杆(20),所述支撑杆(20)上端焊接有卡箍(14),所述卡箍(14)中间卡结有单晶硅棒样品(21),所述顶壁(6)右侧下端焊接有轴承(5),所述轴承(5)由外圈支撑架(51)、内圈支撑架(52)和带有圆柱滚子的保持架(53)组成,所述外圈支撑架(51)通过带有圆柱滚子的保持架(53)滚动连...

【专利技术属性】
技术研发人员:周耐根刘世龙刘淑慧
申请(专利权)人:南昌大学
类型:新型
国别省市:江西;36

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