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本实用新型提供一种全自动刮边机,其包括基座箱,在基座箱的设置平台上设置有治具机构、对中机构、输送机构、处理机构、调度机构以及控制系统。通过治具机构放置晶圆片,组装机械手输送晶圆片;对中装置将晶圆片上料到输送机构的承载台上并对中,输送机构中放...该专利属于深圳市赛平精密技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市赛平精密技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种全自动刮边机,其包括基座箱,在基座箱的设置平台上设置有治具机构、对中机构、输送机构、处理机构、调度机构以及控制系统。通过治具机构放置晶圆片,组装机械手输送晶圆片;对中装置将晶圆片上料到输送机构的承载台上并对中,输送机构中放...