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本实用新型涉及RPS气体解离装置技术领域，具体为一种RPS气体解离装置，包括阳极氧化箱与固定装置，阳极氧化箱两侧分别开设有进气口与出气口，进气口与出气口外侧均设有固定装置，固定装置靠近进气口一侧设有进气环，进气环外侧设有固定环，固定环内侧设...
该专利属于江苏神州半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏神州半导体科技有限公司授权不得商用。

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