【技术实现步骤摘要】
一种RPS气体解离装置
本技术涉及RPS气体解离装置
，具体为一种RPS气体解离装置。
技术介绍
RPS主要有控制电路，阳极氧化腔体（铝表面做氧化处理），BOOST电源以及辅助供电等组成，其中阳极氧化腔体时该系统的核心部件，因为气体在其中电离，且是真空密闭环境下，所以对阳极氧化腔体的耐压和密封性要求较高。但现有的阳极氧化箱的进料口与出料口的易产生漏气的情况，鉴于此，我们提出一种RPS气体解离装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种RPS气体解离装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的阳极氧化箱的进料口与出料口的易产生漏气的情况的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种RPS气体解离装置，包括阳极氧化箱与固定装置，所述阳极氧化箱两侧分别开设有进气口与出气口，所述进气口与所述出气口外侧均设有固定装置，所述固定装置靠近所述进气口一侧设有进气环，所述进气环外侧设有固定环，所述固定环内侧设有若干个呈弧形结构的夹板,所述夹板外壁通过轴承转动连接有支撑杆，所述固定环外壁靠近所述支...
【技术保护点】
1.一种RPS气体解离装置，包括阳极氧化箱（1）与固定装置（2），其特征在于：所述阳极氧化箱（1）两侧分别开设有进气口（11）与出气口（12），所述进气口（11）与所述出气口（12）外侧均设有固定装置（2），所述固定装置（2）靠近所述进气口（11）一侧设有进气环（21），所述进气环（21）外侧设有固定环（22），所述固定环（22）内侧设有若干个呈弧形结构的夹板（23）,所述夹板（23）外壁通过轴承转动连接有支撑杆（231），所述固定环（22）外壁靠近所述支撑杆（231）的位置开设有通孔（221），所述支撑杆（231）嵌设于所述通孔（221）内部，所述支撑杆（231）通过螺纹...
【技术特征摘要】
1.一种RPS气体解离装置，包括阳极氧化箱（1）与固定装置（2），其特征在于：所述阳极氧化箱（1）两侧分别开设有进气口（11）与出气口（12），所述进气口（11）与所述出气口（12）外侧均设有固定装置（2），所述固定装置（2）靠近所述进气口（11）一侧设有进气环（21），所述进气环（21）外侧设有固定环（22），所述固定环（22）内侧设有若干个呈弧形结构的夹板（23）,所述夹板（23）外壁通过轴承转动连接有支撑杆（231），所述固定环（22）外壁靠近所述支撑杆（231）的位置开设有通孔（221），所述支撑杆（231）嵌设于所述通孔（221）内部，所述支撑杆（231）通过螺纹连接于所述通孔（221）内部。
2.根据权利要求1所述的RPS气体解离装置，其特征在于：所述阳极氧化箱（1）底面靠近四周位置设...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘锐，徐远波，尹巧星，
申请(专利权)人：江苏神州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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