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本发明公开了一种半导体石墨反应釜，包括石墨反应釜体，所述石墨反应釜体外侧的底部位置处设置有出料管，所述出料管顶部的中间位置处设置有出料阀门，且出料阀门的输出端延伸至出料管的内部，所述出料管的内侧均匀设置有弧形挡板，所述石墨反应釜体顶部的一侧...
该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。

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