下载一种硅片吸取装置的技术资料

文档序号:26565564

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本实用新型公开了一种硅片吸取装置,包括进气组件、固定组件和吸取组件,所述固定组件包括吸盘端板、吸盘端块以及连接吸盘端板和吸盘端块的连接杆,所述连接杆将吸取组件与固定组件连接,所述吸取组件包括吸盘,所述吸盘上固设有吸取槽,所述进气组件为吸取组...
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