下载一种硅片分离移动机构的技术资料

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本实用新型公开了一种硅片分离移动机构,包括升降装置和硅片吸取分离装置,所述升降装置用于控制硅片吸取分离装置竖直移动,所述硅片吸取分离装置固设于所述升降装置上,所述硅片吸取分离装置包括硅片吸取装置、硅片分片装置和移动组件,所述硅片吸取装置用于...
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