下载一种硅片全自动上下料机的技术资料

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本实用新型公开了一种硅片全自动上下料机,包括依次设置的花篮流转机构、倒片机构和舟传送机构,所述花篮流转机构运送满载花篮/空花篮至所述倒片机构上,所述舟传送机构传送空金属舟/满载金属舟至所述倒片机构上,在所述倒片机构上进行硅片的上下料;其中,...
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