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一种用于将扁平的半导体晶片保持在位(在适当位置或正确位置)的装置，其包括至少两个承载板、被固定或能固定在承载板上的接收体以及在接收器侧具有抽吸端的穿透该接收器体的真空通道，其中该接收侧具有软材料的限定的抽吸结构，并且其中至少两个承载板每个在...
该专利属于硅电子股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅电子股份公司授权不得商用。

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