下载一种等离子自动密封门的技术资料

文档序号:26556640

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本实用新型涉及等离子真空装置技术领域,具体指一种等离子自动密封门;包括活动门,所述活动门的两侧均设有导向侧板,两个导向侧板上均设有开闭机构,开闭机构与活动门配合连接;所述导向侧板的内侧设有线性导轨,导向侧板通过直线轴承与线性导轨活动连接;还...
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