一种等离子自动密封门制造技术

本实用新型专利技术涉及等离子真空装置技术领域，具体指一种等离子自动密封门；包括活动门，所述活动门的两侧均设有导向侧板，两个导向侧板上均设有开闭机构，开闭机构与活动门配合连接；所述导向侧板的内侧设有线性导轨，导向侧板通过直线轴承与线性导轨活动连接；还包括两个位移气缸，两个位移气缸的输出端分别与导向侧板固定连接；本实用新型专利技术结构合理，通过开闭气缸驱动活动门使其上下活动，由两个位移气缸驱动导向侧板进行同步的横向活动，从而开启或关闭密封舱的活动门，整体结构紧凑，动作稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子自动密封门
本技术涉及等离子真空装置
，具体指一种等离子自动密封门。
技术介绍
等离子技术是指处于电离状态的气态物质，其中带负电荷的粒子(电子、负离子)数等于带正电荷的粒子(正离子)数。通过气体放电或加热的办法，从外界获得足够能量，使气体分子或原子中轨道所束缚的电子变为自由电子，便可形成等离子体。等离子体本身是一种良导体，所以能利用磁场来控制等离子体的分布和它的运动，这有利于化工过程的控制。等离子技术应用的前提都需要在抽真空环境下，即等离子加工设备必须具备抽真空腔体，而抽真空腔体需要用密封门来保证其内部的密封性。等离子加工装置一般包括抽真空腔体和密封门，抽真空腔体和密封门之间通过结构配合构成封闭结构，二者之间的结合部通过密封胶条保证气密性。现有的等离子抽真空设备结构复杂，成本很高，占用空间较多，稳定性存在不足。因此，有必要对现有技术进行改进和发展。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种结构紧凑、动作稳定的等离子自动密封门。为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：本技术所述的一种等离子自动密封门,包括活动门，所述活动门的两侧均设有导向侧板，两个导向侧板上均设有开闭机构，开闭机构与活动门配合连接；所述导向侧板的内侧设有线性导轨，导向侧板通过直线轴承与线性导轨活动连接；还包括两个位移气缸，两个位移气缸的输出端分别与导向侧板固定连接。根据以上方案，所述开闭机构包括直臂、曲臂和开闭气缸，开闭气缸固定连接在导向侧板的外侧面上，直臂的两端分别连接在导向侧板和活动门上；所述曲臂的转动中心与导向侧板转动连接，曲臂的两端分别连接在活动门和开闭气缸的输出端上。根据以上方案，所述两个导向侧板之间连接有同步杆，同步杆的两端分别连接在对应曲臂的转动中心上。根据以上方案，所述活动门的面板内侧设有缓冲弹簧。根据以上方案，所述活动门两个侧板的内壁上设有滑动装置。本技术有益效果为：本技术结构合理，通过开闭气缸驱动活动门使其上下活动，由两个位移气缸驱动导向侧板进行同步的横向活动，从而开启或关闭密封舱的活动门，整体结构紧凑，动作稳定。附图说明图1是本技术的整体结构示意图。图中：1、活动门；2、导向侧板；3、开闭机构；11、缓冲弹簧；12、滑动装置；21、线性导轨；22、直线轴承；23、位移气缸；24、同步杆；31、直臂；32、曲臂；33、开闭气缸。具体实施方式下面结合附图与实施例对本技术的技术方案进行说明。如图1所示，本技术所述的一种等离子自动密封门,包括活动门1，所述活动门1的两侧均设有导向侧板2，两个导向侧板2上均设有开闭机构3，开闭机构3与活动门1配合连接；所述导向侧板2的内侧设有线性导轨21，导向侧板2通过直线轴承22与线性导轨21活动连接；还包括两个位移气缸23，两个位移气缸23的输出端分别与导向侧板2固定连接；本技术可应用于等离子密封舱，其中线性导轨21与密封舱的两侧外壁固定连接，从而使导向侧板2及其上的其他部件安装在密封舱上，而导向侧板2通过直线轴承22可沿线性导轨21前后活动，使活动门1可相对于密封舱进行前后位移；而所述的开闭机构3可同步地驱动活动门1进行上下活动，从而使活动门1可相对于密封舱实现开合和关闭动作。所述开闭机构3包括直臂31、曲臂32和开闭气缸33，开闭气缸33固定连接在导向侧板2的外侧面上，直臂31的两端分别连接在导向侧板2和活动门1上；所述曲臂32的转动中心与导向侧板2转动连接，曲臂32的两端分别连接在活动门1和开闭气缸33的输出端上；如附图所示，所述直臂31用于限制活动门1的运动轨迹，进而在曲臂32的转动牵引下，使活动门1以直立的姿态对接密封舱的仓口。所述两个导向侧板2之间连接有同步杆24，同步杆24的两端分别连接在对应曲臂32的转动中心上；所述同步杆24用于保持两个导向侧板2之间的平移同步动作，同步杆24将两个曲臂32对接使其转动中心保持一致，从而控制活动门1的动作准确性。所述活动门1的面板内侧设有缓冲弹簧11，所述活动门1的开启和闭合需要位移气缸23的平移驱动，活动门1的对接面上设有密封板用于闭合密封舱口的密封胶条，缓冲弹簧11可以保证活动门1上的密封板与密封胶条紧密接触，从而使活动门1的动作在少量形位公差下，仍旧能够保证对接的紧密性，提高密封舱运行的稳定性。所述活动门1两个侧板的内壁上设有滑动装置12，滑动装置12用于连接活动门1上的密封板，通过控制密封板的活动轨迹，保证活动门1在开启和关闭时的动作准确性。以上所述仅是本技术的较佳实施方式，故凡依本技术专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均包括于本技术专利申请范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子自动密封门,包括活动门(1)，其特征在于：所述活动门(1)的两侧均设有导向侧板(2)，两个导向侧板(2)上均设有开闭机构(3)，开闭机构(3)与活动门(1)配合连接；所述导向侧板(2)的内侧设有线性导轨(21)，导向侧板(2)通过直线轴承(22)与线性导轨(21)活动连接；还包括两个位移气缸(23)，两个位移气缸(23)的输出端分别与导向侧板(2)固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种等离子自动密封门,包括活动门(1)，其特征在于：所述活动门(1)的两侧均设有导向侧板(2)，两个导向侧板(2)上均设有开闭机构(3)，开闭机构(3)与活动门(1)配合连接；所述导向侧板(2)的内侧设有线性导轨(21)，导向侧板(2)通过直线轴承(22)与线性导轨(21)活动连接；还包括两个位移气缸(23)，两个位移气缸(23)的输出端分别与导向侧板(2)固定连接。


2.根据权利要求1所述的等离子自动密封门，其特征在于：所述开闭机构(3)包括直臂(31)、曲臂(32)和开闭气缸(33)，开闭气缸(33)固定连接在导向侧板(2)的外侧面上，直臂(31)的两端分别连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志强，
申请(专利权)人：深圳市方瑞科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44