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本实用新型公开了一种防止形成湿气涡流的化学气相沉积蒸镀设备，包括依次连接的进料门、材料蒸发池、材料裂解池、镀膜腔体，镀膜腔体依次通过管道连接冷阱、机械真空泵，镀膜腔体与冷阱之间的管道上连接慢开截止阀；在镀膜腔体和冷阱之间增加了可控慢开截止阀...
该专利属于西安瀚维光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安瀚维光电科技有限公司授权不得商用。

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