下载真空室内框架监控装置的技术资料

文档序号:26553901

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本实用新型公开了真空室内框架监控装置,包括固定在框架(2)底部的射频芯片(3)、及固定在真空室(1)底部的射频芯片读写器(4),所述射频芯片读写器(4)经套封(5)固定在所述真空室(1)底部的外壁上,所述套封(5)与所述真空室(1)的外壁密...
该专利属于苏州胜利精密制造科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州胜利精密制造科技股份有限公司授权不得商用。

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