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本实用新型涉及半导体技术领域，涉及一种便于与端头连接的一体型旋转靶材，所述便于与端头连接的一体型旋转靶材包括溅射靶材主体、分别设置于溅射靶材主体两端的设备连接端与端头连接端以及与端头连接端连接的端头；所述端头连接端设置有外丝，外丝与端头内的...
该专利属于合肥江丰电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥江丰电子材料有限公司授权不得商用。

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