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一种测量在参考面（２）的旁边运动的部件（４）与该参考平面（２）之间的距离（Ｓ）的方法，其中，监测两束被调整为彼此基本平行的光束（１０、１４、４０、４２）和至少另一束被调整为沿所述部件（４）的运动方向与所述平行光束（１０、１４、４０、４２）成...
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