下载一种雪崩光电探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:26533368

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本发明实施例公开了一种雪崩光电探测器及其制备方法。其中,所述雪崩光电探测器包括:衬底,以及位于衬底上的器件结构层;器件结构层至少包括沿垂直衬底平面方向向上依次设置的电荷层、过渡层、吸收层以及第一电极接触层;其中,电荷层为具有第一掺杂类型的第...
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