下载柔性自驱动压力传感器及其制造方法的技术资料

文档序号:26521970

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本公开涉及一种柔性自驱动压力传感器及其制造方法。该方法包括:对第一衬底材料与第二衬底材料进行混合、固化处理,得到下衬底层;在下衬底层上制备出第一电极层;将离子导体涂覆到下衬底层和第一电极层上,形成离子导体层;将上衬底层安装覆盖在离子导体层上...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。

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