下载一种硅兼容双极性异质结紫外-近红外双波段光电探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:26509223

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本发明公开了一种硅兼容双极性异质结紫外‑近红外双波段光电探测器及其制备方法,该探测器的结构为:在单晶硅衬底的上、下表面皆设置有SiO...
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