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本发明提供一种阵列基板及其制备方法,所述阵列基板包括:基板、第一氧化物有源层、第二氧化物有源层、栅极绝缘层、栅极、钝化层以及源漏电极层,通过设置两层具有高迁移率的有源层进行膜层叠加,可以提高阵列基板的迁移率。并且将所述的第一氧化物有源层设置...该专利属于TCL华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过TCL华星光电技术有限公司授权不得商用。
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