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本申请提供一种阵列基板，其包括基底、衬底结构层、薄膜晶体管功能层和至少一压应力中和层，所述衬底结构层设置于所述基底上；所述薄膜晶体管功能层设置于所述衬底结构层上；所述压应力中和层至少集成在所述衬底结构层上，所述压应力中和层的张应力大于压应力...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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