下载一种提高SiC功率芯片键合线功率循环能力的方法的技术资料

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本发明公开了一种提高SiC功率芯片键合线功率循环能力的方法,通过在SiC功率芯片表面形成具有若干金属图形的金属层,使得键合后键合点与芯片表面铝金属化形成三维连接结构,提升芯片功率循环能力。金属图形为条状,金属层厚度小于或等于键合线直径,金属...
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