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一种提高SiC功率芯片键合线功率循环能力的方法技术
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文档序号:26508957
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本发明公开了一种提高SiC功率芯片键合线功率循环能力的方法,通过在SiC功率芯片表面形成具有若干金属图形的金属层,使得键合后键合点与芯片表面铝金属化形成三维连接结构,提升芯片功率循环能力。金属图形为条状,金属层厚度小于或等于键合线直径,金属...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。
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