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本发明实施例提供一种气体质量流量控制器，用于检测流经工艺腔室的气体流量，包括相互独立的流量检测模块和流量调节模块，以及控制模块，其中，流量检测模块设置在工艺腔室的进气端，用于检测该工艺腔室的进气端处的气体流量值，并发送至控制模块；流量调节模...
该专利属于北京七星华创流量计有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创流量计有限公司授权不得商用。

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