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本发明属于薄膜晶体管加工技术领域，提供了一种电子级TFT光阻剥离液的制备工艺。该电子级TFT光阻剥离液的制备工艺包括将剥离液的原料混合后过滤即得；原料包括：有机胺、二甲基亚砜、二乙二醇单丁醚、N‑甲基吡咯烷酮、二甲基乙酰胺、四甲基氢氧化铵以...
该专利属于福建天甫电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建天甫电子材料有限公司授权不得商用。

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