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一种热光移相器，包括：传输波导，用于光传输；加热单元，与所述传输波导热耦合，用于对所述传输波导的至少一部分进行加热以改变通过所述传输波导中的光的相位；至少一个光栅结构，形成于所述传输波导的内侧壁或外表面，用于对所述传输波导中的光进行至少一次...
该专利属于联合微电子中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。

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