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中国科学院半导体研究所
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用于激光雷达的单光子TOF图像传感器制造技术
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下载用于激光雷达的单光子TOF图像传感器的技术资料
文档序号:26502726
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本发明公开了一种单光子TOF传感器,包括:单光子TOF图像传感器探测元件,用于检测入射光子并发生雪崩,产生雪崩电流:单光子TOF图像传感器探测元件,用于检测入射光子并发生雪崩,产生雪崩电流:主动淬灭‑恢复电路,用于淬灭所述单光子TOF图像传...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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