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中国科学院光电技术研究所
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一种基于阵列型二元相位调制的哈特曼波前传感器制造技术
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下载一种基于阵列型二元相位调制的哈特曼波前传感器的技术资料
文档序号:26501176
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本发明公开了一种基于阵列型二元相位调制的哈特曼波前传感器,在微透镜阵列子孔径内引入了随机二元相位调制,形成二元相位调制阵列,光束通过阵列型二元相位调制微透镜阵列被分割后聚焦于光电探测器上,形成特殊的光斑阵列图像,最终根据调制后的光斑阵列图的...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
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