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本发明实施例公开了一种硅片外延生长的反应尾气的排出装置、系统及方法，属于半导体制造领域。所述装置包括：用于输送所述反应尾气的尾气输送管道，其中，所述反应尾气在经由所述尾气输送管道输送的过程中会生成各种能够聚集在所述尾气输送管道内部的副产物；...
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