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本发明提供一种工艺腔室，包括腔体、设置在腔体顶部的上盖环、绝缘件以及封闭腔体顶部开口的上电极组件，还包括设置在腔体中的内衬组件，其中，上电极组件包括上电极、电极安装板以及第一匀流板，第一匀流板通过第一紧固件固定设置在电极安装板上；绝缘件设置...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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