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本发明公开了一种新型镀膜掩膜装置，属于镀膜掩膜技术领域，能够解决现有镀膜装置结构复杂，制备过程繁琐，导致其成本较高的问题。所述装置包括：支撑件，支撑件用于支撑待镀膜件；掩膜板，掩膜板设置在支撑件上方；掩膜板上设置有开孔，在垂直于掩膜板的方向...
该专利属于中国科学院福建物质结构研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院福建物质结构研究所授权不得商用。

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