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本发明涉及成膜装置用部件及具备成膜装置用部件的成膜装置。本发明的成膜装置用部件具有：暴露于成膜气氛的表面；和喷涂膜，形成于所述表面，且由Al或Al合金或者Cu或Cu合金构成。所述喷涂膜的表面粗糙度Ra[μm]在50～70的范围内。...
该专利属于日本爱发科泰克能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本爱发科泰克能株式会社授权不得商用。

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