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本发明公开了一种带有一粗四精沟槽的砂轮,包括砂轮本体,所述砂轮本体的外直径为200‑210mm,砂轮本体的厚度为18‑25mm;所述砂轮本体上按顺序开设有1个粗研沟槽和4个精研沟槽;所述粗研沟槽与相邻精研沟槽之间的距离为1.8±0.02mm...该专利属于上海新欣晶圆半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种带有一粗四精沟槽的砂轮,包括砂轮本体,所述砂轮本体的外直径为200‑210mm,砂轮本体的厚度为18‑25mm;所述砂轮本体上按顺序开设有1个粗研沟槽和4个精研沟槽;所述粗研沟槽与相邻精研沟槽之间的距离为1.8±0.02mm...