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本发明公开一种晶圆研磨头装置，包括连接梁，所述连接梁的一端顶面固定有升降气缸，升降气缸的推杆穿过连接梁的底面并安装有电机架，电机架的底板的顶面固定有旋转伺服电机，旋转伺服电机的输出轴穿过电机架的底板的底面并固定有连接板，连接板的底面固定抛光...
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