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本发明提供了一种判断研磨头的胶膜是否扭曲的方法，研磨头包括第一研磨区域及围绕第一研磨区域的多个第二研磨区域，第一研磨区域为圆状，第二研磨区为同心环状，第一研磨区域与相邻的第二研磨区域的交界处的区域为相邻域，包括：获取第一研磨区域的研磨速率及...
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