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提供激光加工装置。即使在装置发生了摆动的情况下，也能够保持精度，即使处于摆动状态，也能够实施激光加工，所以提高生产力。一种激光加工装置，其具有：照明光学系统，其将线状的加工用激光照射到掩模，并且利用扫描机构对掩模进行扫描；投影光学系统，其将...
该专利属于株式会社ORC制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社ORC制作所授权不得商用。

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