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双端加热式微波功率传感器制造技术
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下载双端加热式微波功率传感器的技术资料
文档序号:2648817
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双端加热式微波功率传感器是一种利用热对称平衡的结构实现微波功率精确测量的新型功率传感器。该传感器以GaAs为衬底(1),在衬底(1)上有一层AlGaAs薄膜(2),在AlGaAs薄膜(2)上表面设有一组串联GaAs/AuGe热电偶形成的热电...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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