双端加热式微波功率传感器制造技术

双端加热式微波功率传感器是一种利用热对称平衡的结构实现微波功率精确测量的新型功率传感器。该传感器以ＧａＡｓ为衬底（１），在衬底（１）上有一层ＡｌＧａＡｓ薄膜（２），在ＡｌＧａＡｓ薄膜（２）上表面设有一组串联ＧａＡｓ／ＡｕＧｅ热电偶形成的热电堆（３），热电堆（３）的两个输出端分别为第一输出端（ｐａｄ１）和第二输出端（ｐａｄ２）；在热电堆（３）左端附近的ＡｌＧａＡｓ薄膜（２）上设有两个ＴａＮ微波终端负载电阻电阻（４），在热电堆（３）右端附近的ＡｌＧａＡｓ薄膜（２）上设有两个并联的ＴａＮ直流发热电阻（５），在两个微波终端负载电阻（４）的左边的ＧａＡｓ衬底（１）上是第一共面波导（６）作为待测的微波信号输入传输线，共面波导（７）与两个并联直流发热电阻（５）连接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是利用直流(低频)电功率替代微波功率的方法实现微波功率的测量，属于微电子器件

技术介绍
在微波研究中，微波功率是表征微波信号特征的一个重要参数。在微波无线应用和测量技术中，微波功率的探测是一个非常重要的部分。传统的功率计采用波导形式的功率传感器，以铋-锑作为热电偶，采用同轴电缆作为传输线，它的主要缺点是响应慢、烧毁水平低、测量高功率时要用到衰减器，并且不能集成到电路中。近20多年来，随着MEMS技术的飞速发展，国外提出了基于MEMS技术的终端直接加热式微波功率传感器，原理是利用终端电阻吸收输入待测的微波功率而发热，并通过放置在微波终端电阻附近的热电偶(热电堆)探测终端电阻附近的温差得到微波功率的大小，这种类型的微波功率传感器具有结构简单、体积小、性能较为优良、与Si工艺或GaAs工艺相兼容等优点。但是，这种传感器也有几个严重不足之处——因为它是单端加热式的结构，即只有微波终端电阻发热而对热电堆一端进行传热，所以测量结果的精度会因为各种热损失而下降，这些热损失包括微波终端电阻发热以后热量在向热电堆传递的过程中终端电阻和热电堆由于热传导向衬底的导热损失、由于热对流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双端加热式微波功率传感器，其特征在于该传感器以ＧａＡｓ为衬底（１），在衬底（１）上有一层ＡｌＧａＡｓ薄膜（２），在ＡｌＧａＡｓ薄膜（２）上表面设有一组串联ＧａＡｓ／ＡｕＧｅ热电偶形成的热电堆（３），热电堆（３）的两个输出端分别为第一输出端（ｐａｄ１）和第二输出端（ｐａｄ２）；在热电堆（３）左端附近的ＡｌＧａＡｓ薄膜（２）上设有两个ＴａＮ微波终端负载电阻电阻（４），在热电堆（３）右端附近的ＡｌＧａＡｓ薄膜（２）上设有两个并联的ＴａＮ直流发热电阻（５），这４个ＴａＮ直流发热电阻（５）是完全一样的，在两个微波终端负载电阻（４）的左边的ＧａＡｓ衬底（１）上是第一共面波导（６）作为待测的微波信号输入...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄从朝，黄庆安，廖小平，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]