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微电子机械正交双通道微波相位在线检测器及其制备方法使得测量信号的幅度变大、测量信号的频带变宽、可测相位为整个周期、不需要消耗直流功率，且便于集成，该在线检测器以砷化镓为衬底（１），在衬底上有功率分配器、功率合成器、９０°移相器、固支梁结构，...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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