【技术实现步骤摘要】
本专利技术提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的正交双通道微波相位在线检测器，属于微电子机械系统的
技术介绍
在微波研究中，微波相位是表征微波信号特征的一个重要参数，微波相位的测量在微波无线应用和测量技术中具有非常重要的地位。传统的微波相位检测器都是基于二极管或常效应管结构的，它们都需要消耗直流功率，而且还部分的存在以下问题测量的信号幅度比较小、测量信号的带宽较小、测量精度不高、可测相位仅为半个周期等。近20多年来，随着MEMS技术的飞速发展，对很多MEMS结构和器件如固支梁结构、MEMS开关等都进行了深入的研究，这些都使采用MEMS技术实现微波相位检测器成为可能。
技术实现思路
技术问题本专利技术的目的是提供一种基于MEMS技术的，使得测量信号的幅度变大、测量信号的频带变宽、可测相位为整个周期、不需要消耗直流功率，且便于集成。技术方案本专利技术的微电子机械正交双通道微波相位在线检测器，是利用微波信号产生静电力，从而影响信号线上方的固支梁结构，当固支梁稳定后，它与传感电极之间的电容发生了变化，通过电容检测电路测出电容，电容与微波信号电压有效值的平方一...
【技术保护点】
一种微电子机械正交双通道微波相位在线检测器，其特征在于第一功率分配器（ａ）的端口一接参考信号，第一功率分配器（ａ）的端口二、端口三分别输出参考信号一（Ｕ↓［ｒ１］）和参考信号二（Ｕ↓［ｒ２］）并分别接第一功率合成器（ｃ）与第二功率合成器（ｄ）的端口二；第二功率分配器（ｂ）的端口一接被测信号，其端口二、端口三分别输出被测信号一（Ｕ↓［ｓ１］）和被测信号二（Ｕ↓［ｓ２］）并分别接第一功率合成器（ｃ）的端口三和９０°移相器（ｇ），在第一功率合成器（ｃ）的端口一处形成了第三信号接到第一固支梁结构（ｅ）的信号输入端；９０°移相器（ｇ）的输出端输出被测信号二－（Ｕ′↓［ｓ２］）接到第二...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，焦永昌，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]
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