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双热电堆平衡式微电子机械微波功率传感器及其制备方法技术
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文档序号:2648801
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基于微电子机械技术的双热电堆平衡式微波功率传感器是一种利用热平衡从而测量微波的新型传感器。该传感器由第一共面波导传输线(1)接收待测微波信号,通过第一负载电阻(2)吸收此信号功率并转换为热量,该热量使设于负载电阻附近的第一热电堆(3)温度升...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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