下载双热电堆平衡式微电子机械微波功率传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:2648801

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基于微电子机械技术的双热电堆平衡式微波功率传感器是一种利用热平衡从而测量微波的新型传感器。该传感器由第一共面波导传输线(1)接收待测微波信号,通过第一负载电阻(2)吸收此信号功率并转换为热量,该热量使设于负载电阻附近的第一热电堆(3)温度升...
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