【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于微电子机械技术的双热电堆平衡式微波功率传感器，其特征在于该传感器以砷化镓为衬底（１２），在砷化镓衬底（１２）上有一层铝镓砷薄膜（１３），在铝镓砷薄膜（１３）上面最左端为第一共面波导传输线（１），第一共面波导传输线（１）接收微波信号，在它的终端是第一负载电阻（２），在第一负载电阻（２）的右侧是第一热电堆（３），第一热电堆（３）的两端与第一压焊块（４）连接，电势差通过第一压焊块（４）输出，在第一热电堆（３）的右侧是金属散热片（５）；在金属散热片（５）的右侧相对左侧对称的设有第二压焊块（６）、第二热电堆（７）、第二负载电阻（８）、第二共面波导传输线（９）；第二共面波导传输...
【技术特征摘要】
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