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本发明提供一种通过非接触式传感器进行导电图案检查的电路图案检查装置，解决由于大型化的衬底产生检查台表面高度差或者衬底弯曲，检查时传感器部移动机构的移动精度和技术难度提高，影响制造成本的问题。本发明的电路图案检查装置中，在检查时非接触式传感器...
该专利属于OHT株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过OHT株式会社授权不得商用。

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