下载半导体光集成元件的技术资料

文档序号:26483781

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在将第一半导体光元件(101)和第二半导体光元件(103)单片集成于同一半导体基板(1、104)的一个面的半导体光集成元件中,第一半导体光元件(101)的n侧包层(51)和第二半导体光元件(103)的n侧包层(53)电绝缘,并且用于与第一半...
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