下载微器件转移方法和转移装置、以及使用该方法和装置的电子产品的技术资料

文档序号:26483716

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本发明的实施例提供了一种微器件转移方法,该方法适用于更多不同的微器件并且能够提高转移效率。微器件转移方法包括以下步骤:以第一速率在第一方向上传送目标基板;定位附接到转移膜的微器件以便面向目标基板的顶部部分,并在第一方向上输送转移膜;在转移膜...
该专利属于韩国机械研究院所有,仅供学习研究参考,未经过韩国机械研究院授权不得商用。

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